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氮化锰薄膜的制作方法是什么
来源:http://www.ayhayj.com/news928566.html发布时间:2022/11/9 0:00:00
其实,作为一种氮化材料,氮化锰可以应用在不同的领域中。由于锰、氮的各种作用,在炼制高强度钢、不锈钢、耐热钢时需要同时加人锰、氮元素。以单质形式加入锰、氮两种元素时,存在如氮的溶解度低、密度小、不易加入及氮的添加量不易控制等缺点。然而,以氮锰化合物形式加入时,不仅易于加入,并且锰、氮的利用率也高。
为了能够加深大家对氮化锰的了解,掌握更多关于氮化锰的应用范围,将向大家简单的讲一下氮化锰薄膜的制作方法。传统的Mn基阻挡层主要通过PVD共沉积CuMn复合材料,然后使用热退火处理,使Mn扩散介质表面来实现。但是,在退火过程中,Cu与low-k(比如SiCOH)介质直接接触,将会导致Cu在介质材料中扩散;而且形成的MnSixOy薄膜导电性较差,一般为绝缘体,会导致RC延迟增加。

通过以上方法制成的氮化锰薄膜具有很多优点,如制作工艺简单,无需后退火,可直接在介质上形成MnxNy阻挡层薄膜。氮化锰薄膜具有很好的均匀性和表面平整度,较低的电阻率。希望大家可以通过这些信息,进一步增加对氮化锰薄膜的了解。同时,也能间接的了解到,氮化锰的应用范围。
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