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国内氮化硅粉生产及发展形势
来源:http://www.ayhayj.com/news/59.html发布时间:2017-12-20
虽然我国也生产氮化硅,氮化硅粉及其它相关产品,但是在技术方面还有待提高。我国在生产氮化硅方面上存在以上几点不足,由大颗粒氮化硅,多相粉体烧结制备,脆性大,均匀性差,可靠性低,韧性和强度差。
而硅粉直接氮化法制备氮化硅粉体要求氮气压力必须足够高,以实现硅与氮气的充分接触。一般燃烧合成的氮化硅粉的氮气压力低限是3MPa,但有时高达100MPa以上。采用高压合成工艺不仅因设备投资高而且增加了生产成本,同时也组生产带来了安全隐患。从国内外氮化硅粉体的指标测试和试烧结果看来,国内生产的氮化硅粉平均颗粒在3微米左右,金属杂质含量较高,难以达到合格产品要求,而进口的氮化硅粉为0.7微米以下。因此,为满足市场需求,工业化生产超微,高质量的氮化硅粉是国内氮化硅行业发展中要解决的难题,刻不容缓。
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