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氮化锰的主要应用

来源:http://www.ayhayj.com/news/228.html发布时间:2022-02-16

氮化锰中间合金产品的研究对金属锰深加工产业具有重要的现实意义及经济价值。由于锰、氮的各种作用,在炼制高强度钢、不锈钢、耐热钢时需要同时加人锰、氮元素。以单质形式加入锰、氮两种元素时,存在如氮的溶解度低、密度小、不易加入及氮的添加量不易控制等缺点。然而,以氮锰化合物形式加入时,不仅易于加入,并且锰、氮的利用率也高,因此研究氮化锰的制备工艺有着重要意义,同时,氮化锰制品市场前景远大。

氮化锰的主要应用
    传统的Mn基阻挡层主要通过PVD共沉积CuMn复合材料,然后使用热退火处理 使Mn扩散至介质表面来实现。但是,在退火过程中,Cu与low-k(比如SiCOH)介质直接接触, 将会导致Cu在介质材料中扩散;而且形成的MnSixOy薄膜导电性较差,一般为绝缘体,会导致 RC延迟增加。
     CN201810068633。4克服了传统方法制备的Mn基阻挡层的不足,提出一种导电性良好,薄膜厚度精确可控,薄膜的组成和厚度均匀,且可以在三维结构中实现均匀覆盖的MnxNy薄膜(其中x和y分别代表Mn和N在薄膜中的相对原子比)制备方法,并且与目前集成电路后道 Cu互连技术相兼容,具有很好的市场应用前景。
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